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溶胶–凝胶法制备 Au-BaTiO3纳米复合薄膜及其介电性能

武英杰王海玲宁兴坤王占杰Qiang Wang

2015Journal of Inorganic MaterialsEnergy被引 3

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摘要

采用溶胶–凝胶法在Pt/Ti/Si O2/Si基板上制备了Au-Ba Ti O3纳米复合薄膜,并且对其晶体结构、微观组织和介电性能进行了研究。结果表明,Au在复合薄膜中以直径为5~22 nm的Au纳米粒子弥散地分布在Ba Ti O3基体中。Au的添加量对复合薄膜的介电性能和表面形貌有很大影响,其最佳添加量约为5mol%。复合薄膜经过550℃的低温退火已经完全结晶为钙钛矿相,其介电常数与700℃退火的纯Ba Ti O3薄膜的相当。在Au-Ba Ti O3复合薄膜的结晶过程中,一方面,Au纳米粒子可能促进了中间相的分解;另一方面,Au纳米粒子诱发了钙钛矿相的异质形核,促进了Ba Ti O3的结晶化。因此,Au纳米粒子大幅度地降低了复合薄膜的退火温度,并显著提高了复合薄膜的介电性能。

引用本文(GB/T 7714)

武英杰, 王海玲, 宁兴坤, 等. 溶胶–凝胶法制备 Au-BaTiO3纳米复合薄膜及其介电性能[J]. Journal of Inorganic Materials, 2015.

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