HOT EMBOSSING METHODS FOR PLASTIC MICROCHANNEL FABRICATION
摘要
polymethylmethacrylate (PMMA ) 上的微隧道的制造用新奇微制造方法的底层被表明。微隧道的图象从由使用热凸刻的方法拥有微隧道的反的图象到一个 PMMA 盘子的一位硅主人被转移。硅主人是静电的联盟者结合了到硼硅酸玻璃 7740 玻璃晶片，它每主人从大约 20 台设备改进设备收益到几百台设备。在复制的精确性上凸刻温度，压力和时间的效果系统地用直角的因素的设计被学习。根据建议试验性的模型的意见，完整的凸刻过程的时间是从大约 20 min 弄短到复制的 6 min，和精确性是 99.3% 。热凸刻方法的重制度在不同微能流动的设备上用 10 条隧道被评估，与深入地的 1.4% 的变化并且 1.8% 在里面宽度。
引用本文（GB/T 7714）
Liu, Junshan, Wang, 等. HOT EMBOSSING METHODS FOR PLASTIC MICROCHANNEL FABRICATION[J]. 中国机械工程学报, 2006.
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