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Computational optimization of diffusion pump parameters
N. Y. Iliasova、SV Nedosekova、AK Rebrov、PA Skovorodko、JJ Roig
1993VacuumEngineering被引 6
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引用本文（GB/T 7714）
N. Y. Iliasova, SV Nedosekova, AK Rebrov, 等. Computational optimization of diffusion pump parameters[J]. Vacuum, 1993.
DOI：https://doi.org/10.1016/0042-207x(93)90139-2
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