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Preparation and Ferroelectric Properties of Double-Scale PZT Composite Piezoelectric Thick Film

段中夏、袁杰、赵全亮、刘红梅、林海波、张文通、Mao‐Sheng Cao

2008Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 1

摘要

稠密、没有裂缝的双规模铅锆酸盐泰坦吃了(Pb (ZT (0.52 ) Ti (0.48 )) O-3， PZT ) 合成压电的厚电影被一个修改大音阶的第五音胶化方法成功地在 Au/Cr/SiO2/Si 底层上制作了。XRD 分析显示厚电影拥有单相的 perovskite 类型结构。SEM 显微图证明表面是没有裂缝的，生气的节稠密、清楚。PZT 厚电影的厚度是大约 4 亩 m。它也展出好铁电体性质，并且有高直接的当前的压缩抵抗性质。在 1kHz 的测试频率，这部电影有 50kV/cm， 54 亩 C/cm (2 ) 的浸透极化和 30 亩 C/cm (2 ) 的残余极化的强制的地。

引用本文（GB/T 7714）