Oxygen Plasma Interactions with Molybdenum : Formation of Volatile Molybdenum Oxides

2002プラズマ・核融合学会誌Chemical Engineering被引 1

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禎佐分利, 裕俊村田, 達也鈴木, 等. Oxygen Plasma Interactions with Molybdenum : Formation of Volatile Molybdenum Oxides[J]. プラズマ・核融合学会誌, 2002.

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