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Deposition of SiOx barrier films by O2/TMDSO RF-PECVD
周美丽、付亚波、陈强、葛袁静
2007中国物理B：英文版Engineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
周美丽, 付亚波, 陈强, 等. Deposition of SiOx barrier films by O2/TMDSO RF-PECVD[J]. 中国物理B：英文版, 2007.
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