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N 2 O Plasma表面处理对SiN x 基IGZO-TFT性能的影响

李 俊、周帆、林华平、Hao Zhang、张建华、蒋雪茵、张志林

2012Chinese Journal of LuminescenceEngineering被引 1

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引用本文（GB/T 7714）

李 俊, 周帆, 林华平, 等. N 2 O Plasma表面处理对SiN x 基IGZO-TFT性能的影响[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2012.

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