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高重复频率脉冲功率技术及其应用:(6)代表性的应用

江伟华

2014High Power Laser and Particle BeamsEngineering被引 1

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摘要

综合介绍了高重复频率脉冲功率在材料、环保、生物·医疗、光源和高能加速器领域的代表性应用.采用脉冲功率的离子注入和表面改性已经被用于工业产品。废气和废液处理的研究成果正在向实用化接近。使用脉冲电场的杀菌和癌症治疗正在吸引很多学者和厂家,因此脉冲功率在生物医学领域的应用前景是非常乐观的。另外,决定未来集成电路工艺标准的极紫外光源已逐步走向生产线。高能加速器上的闸流管会渐渐被功率半导体器件取代。

引用本文(GB/T 7714)

江伟华. 高重复频率脉冲功率技术及其应用:(6)代表性的应用[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014.

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DOI:https://doi.org/10.3788/hplpb201426.030201

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