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超精密加工機械の高精度化の研究 第1報:自成絞り方式空気静圧スピンドルの高性能化
克敏 田中、誠司 木村、清 鈴木、哲太郎 植松
2007Engineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
克敏 田中, 誠司 木村, 清 鈴木, 等. 超精密加工機械の高精度化の研究 第1報:自成絞り方式空気静圧スピンドルの高性能化[J]. 未知来源, 2007.
DOI：https://doi.org/10.11420/jsat.51.302
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