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A Hybrid Silicon-PDMS Micropump Actuated by PZT Bimorph

HainingWangDafuCui ZhaoxinGengXing XingChen

2006稀有金属材料与工程Engineering被引 1

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引用本文(GB/T 7714)

Haining, Wang, Dafu, 等. A Hybrid Silicon-PDMS Micropump Actuated by PZT Bimorph[J]. 稀有金属材料与工程, 2006.

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