SWAGELOK扩增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线，推出可人为调整的阀门
摘要
全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布，推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀，可精确地控制流体，落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57-0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛，包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。
引用本文（GB/T 7714）
Chi Zhang. SWAGELOK扩增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线，推出可人为调整的阀门[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2005.
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