三正丁基膦稳定的铜(I)β-二酮配合物的合成、表征以及作为前驱物用化学汽相沉积法生长铜膜
摘要
合成了一系列三正丁基膦辅助配体稳定的铜(Ⅰ)β-二酮配合物,对合成的配合物用元素分析、红外、核磁共振以及热重和差热等手段进行了表征.筛选出性能优良的配合物为前驱物用化学汽相沉积(CVD)的方法生长出金属铜膜,用SEM和EDX等手段对生长的铜膜进行了表征.
引用本文(GB/T 7714)
沈应中, Marion, Leschke, 等. 三正丁基膦稳定的铜(I)β-二酮配合物的合成、表征以及作为前驱物用化学汽相沉积法生长铜膜[J]. 无机化学学报, 2004.
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