红外折／衍混杂f-theta镜研究
摘要
根据现代红外激光扫描系统的需求，分别设计了工作于808nm～1064nm波段和1064nm～1500nm波段的折／衍混杂f-theta系统。系统分别由三片镜和四片镜组成，激光扫描范围分别为100mm×100mm和60mm×60mm。此二系统相配合，可以完成在808nm～1500nm波长范围的激光扫描工作。点列图分析表明，输出光斑质量优良均匀，在0视场、0．7视场、和金视场光斑均接近衍射极限。像差分析表明，系统最大色差为26μm，最大场曲小于0-3mm，最大f-theta误差小于0．03％。满足现代多工作波长、高精度激光打标机的实际需求。
引用本文（GB/T 7714）
王肇圻, Juan Liu, 傅汝廉. 红外折／衍混杂f-theta镜研究[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2006.
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