Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术

1996Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0

摘要

本Ｅｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法，其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术－－“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空，同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。

引用本文（GB/T 7714）

晃阳, 左云芝. Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1996.

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