130：88516j 含有X射线发生器和探测器的化学蒸气气相淀积（简称CVD）设备，以及它们在摆动曲线探测方面的应用

2005磷酸盐工业Engineering被引 0

摘要

在本文所述的仪器的反应炉表面的一部分或整个装置反应炉表面上，形成了一个窗口，X射线即喷射到反应炉面上的一层薄膜上(例如是磷化镓或磷化镓砷)，这样X射线发生的散射线被检测出来。X射线发生器和检测器围绕着反应炉转动，这样使得薄膜与X射线间的夹角与薄膜与衍射线之间的夹角之比值保持2：1，使得研究者可以现场进行观测。(指对摆动曲线或者薄膜的晶格配置的观测)。

引用本文（GB/T 7714）

华小西, 付玉信. 130：88516j 含有X射线发生器和探测器的化学蒸气气相淀积（简称CVD）设备，以及它们在摆动曲线探测方面的应用[J]. 磷酸盐工业, 2005.

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