化学溶液沉积法制备Nd和Sc／Al／（Sc，Al）共掺杂钛酸铋铁电薄膜的电性能研究
摘要
利用化学溶液沉积法在Pt／Ti／SiO2／Si（100）基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc／Al／（Sc，Al）共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd085Ti2．94Sc0.06O12（BNTSc）、Bi3.15Nd0.85Ti294Al0.06O12（BNTAl）和Bi3.15Nd0．85Ti2．94（Sc0.03，Al0.03）O，2（BNT（Sc，Al）），并研究和对比了这一系列薄膜的微结构、介电、铁电和漏电流等特性。结果发现BNT（Sc，Al）薄膜具有较高的剩余极化强度和介电常数，其漏电流密度低于BNTAl薄膜。另外，还讨论了相关的物理机制。
引用本文（GB/T 7714）
胡增顺, 杨桦, 晋玉星. 化学溶液沉积法制备Nd和Sc／Al／（Sc，Al）共掺杂钛酸铋铁电薄膜的电性能研究[J]. 材料导报, 2012.
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