（Ba0.7Sr0.3）TiO3铁电薄膜热敏电容器的研制
摘要
采用射频磁控浅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的ＢＳＴ（（Ｂａ０．７Ｓｒ０．３）ＴｉＯ３）铁电薄膜热敏电容器，介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺。根据热敏电容器的电容－温度曲线，分析了热敏电容器的工作原理。实验结果表明ＢＳＴ铁电薄膜热敏电容器可以工作在室温附近，约２６℃处。
引用本文（GB/T 7714）
刘世建, 徐重阳. （Ba0.7Sr0.3）TiO3铁电薄膜热敏电容器的研制[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2000.
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