射频磁控溅射沉积ZrO2·8% Y2O3的相稳定性研究
摘要
将ＺｒＯ２·８％Ｙ２Ｏ３用射频磁控溅射技术沉积在ＮｉＣｒＡｌＹ基底上，进行１００℃＝室温，１００℃＝冷水和９００℃＝室温等热循环和熔盐作用的试验。随后进行Ｘ射线衍射分析和扫描电镜观察。结果表明，沉积态的氧化锆层主要为立方相和少量单斜相及四方相。热循环及熔盐Ｎａ２ＳＯ４－５％ＮａＣｌ与ＺｒＯ２·８％ Ｙ２Ｏ３的化学作用都是促使立方相向单斜相的转变。
引用本文（GB/T 7714）
范瑞麟. 射频磁控溅射沉积ZrO2·8% Y2O3的相稳定性研究[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1997.
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