Al/CuPc/Cu肖特基气敏二极管制备与特性
摘要
实验采用溅射和蒸发镀膜工艺,制备了一种新型的Al/CuPc/Cu三明治结构NO2气敏传感器.这种器件对NO2气体具有较高的敏感性,制备工艺简单,成本较低.通过研究其在NO2气体中电学特性的变化,来表征其敏感特性.研究结果表明,在10 ppm的NO2气体环境中,器件的正向电流明显增大.通过比较器件在空气和NO2气体中器件的肖特基势垒高度的变化,发现通入NO2气体50分钟后,CuPc/Al势垒高度降低了60 meV,正向整流电流增加77倍.
引用本文（GB/T 7714）
王东兴, 刘晓廉, 焦兵兵, 等. Al/CuPc/Cu肖特基气敏二极管制备与特性[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2012.
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