Zn_（1-x-y）Na_xCo_yO薄膜的脉冲激光沉积制备及表征
摘要
采用脉冲激光沉积技术,在Si（111）衬底上成功制备出不同含量Na,Co共掺的ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、原子力显微镜、荧光光谱仪以及四探针电阻率测试台对薄膜的结构、表面形貌和光电性质进行了表征.重点讨论了不同掺杂浓度对薄膜光电性质的影响.结果表明Na,Co共掺没有改变ZnO的六角纤锌矿结构且掺杂导致薄膜仅有的的紫外发光峰出现红移.当Na,Co掺杂浓度分别为10时,峰值最强且红移最明显,发光峰波长为397nm,薄膜的电阻率最低,达到了8.34×10-1Ω.cm.深入讨论了上述结果的产生原因.
引用本文（GB/T 7714）
李世帅, 冯秀鹏, 黄金昭, 等. Zn_（1-x-y）Na_xCo_yO薄膜的脉冲激光沉积制备及表征[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2011.
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