Hg 1-x Cd x Te液相外延薄膜的貌相分析

1997华东理工大学学报：社会科学版Engineering被引 0

摘要

用扫描电子显微镜、能量散射Ｘ－射线分析及金相显微镜等方法，研究了Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ液相外延薄膜的表面形貌与衬底沾污等的关系，以及外延层夹杂和晶界存在的影响。结果表明，衬底沾污及晶界的存在会使外延薄膜的貌相变差；生长前衬底表面覆盖可以减轻其表面沾污，用适当的回熔ＬＰＥ工艺，可以改进外延层表面形貌及质量

引用本文（GB/T 7714）

朱基千, 李标, 褚君浩, 等. Hg 1-x Cd x Te液相外延薄膜的貌相分析[J]. 华东理工大学学报：社会科学版, 1997.

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