微晶／非晶Si：C：H半导体多层膜的结构研究
摘要
采用普通辉光放电分解硅烷的方法，沉积具有交替微晶和非晶Ｓｉ：Ｃ：Ｈ亚层的多层样样品。从喇曼散射结果分析，样品具有明显的微晶和非晶两仃结构；在低角度Ｘ射线衍射谱中，观察到了多级的衍射峰，了多层结构的存在。
引用本文（GB/T 7714）
王洪涛, 冯良桓. 微晶／非晶Si：C：H半导体多层膜的结构研究[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1997.
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