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喷雾热解法(SPD)的效果——透明,导电,取向3元功能二氧化锡薄膜的形成

金子正治李挺

1999Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0

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摘要

在化学薄膜制造法中有一种喷雾热解法(SPD),由于其原材料是液相,是离子,聚合物,离子团,液胶等,所在,它能很容易形成复杂的化合物和固溶体薄膜,而且具有装置简单,容易操作,大面积化,容易保持,调节成分和组成等特征,我们使用这种方法对原料化合物,溶剂,基板温度等成生长参数进行了详细的研究,并在玻璃基板上成功地形成了高取向性的SnO2膜膜,这个成果作为开拓以征常见的SPD法的新应用领域的线索而引人注目

引用本文(GB/T 7714)

金子正治, 李挺. 喷雾热解法(SPD)的效果——透明,导电,取向3元功能二氧化锡薄膜的形成[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1999.

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