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1微米自对准CoSi2 SALICIDE MOS技术研究

徐立、武国英

1991Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0

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引用本文（GB/T 7714）

徐立, 武国英. 1微米自对准CoSi2 SALICIDE MOS技术研究[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1991.

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