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电感耦合等离子体蚀刻（Ba,Sr）TiO3薄膜

柳柳

1999Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0

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引用本文（GB/T 7714）

柳柳. 电感耦合等离子体蚀刻（Ba,Sr）TiO3薄膜[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1999.

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