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渐变组分a-Si:H/a-SiC:H膜及其在台面型硅器件上的钝化应用

马瑾、宋学文、陆大荣

1989Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0

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引用本文（GB/T 7714）

马瑾, 宋学文, 陆大荣. 渐变组分a-Si:H/a-SiC:H膜及其在台面型硅器件上的钝化应用[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1989.

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