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Si(111)衬底上六方YMnO3薄膜的制备与铁电性质

刘越峰郑海务马兴平Wang Chao张华荣顾玉宗

2010材料导报Materials Science被引 0

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摘要

采用化学溶液法在Si(111)衬底上制备了YMnO3薄膜。XRD结果表明,所制备的薄膜为六方纯相YMnO3,且具有部分择优取向生长。以Pt为顶电极,测试了YMnO3薄膜的电滞回线,结果表明,所制备的YMnO3薄膜具有良好的铁电性质。

引用本文(GB/T 7714)

刘越峰, 郑海务, 马兴平, 等. Si(111)衬底上六方YMnO3薄膜的制备与铁电性质[J]. 材料导报, 2010.

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