基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试

JamesM、RonnieA. Hanson、SantaClara Browne、杨瑞丽

2004集成电路应用Engineering被引 0

摘要

本文阐述了应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统上的含氟聚合物阀门，包括它的材料的选择、设计、生产和测试等问题。并针对半导体工业发展的需求，以SEMI F57-0301为标准，对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述。尽管此文章是集中在新一代先进的含氟聚合物阀门发展的阐述上，但是此方法和结论同样适用于流量计，过滤器，调节阀等组件。

引用本文（GB/T 7714）

JamesM, RonnieA. Hanson, SantaClara Browne, 等. 基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试[J]. 集成电路应用, 2004.

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