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等离子体增强的化学蒸气沉积（PECVD）制备的合金
Suhr、丁乐七
1990Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0
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引用本文（GB/T 7714）
Suhr, 丁乐七. 等离子体增强的化学蒸气沉积（PECVD）制备的合金[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1990.
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