具有C轴取向Al^3＋掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究
摘要
以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3＋离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析。结果表明：Al3＋离子掺杂ZnO薄膜为六方纤锌矿型结构,由六棱柱状阵列构成,具有C轴择优取向;薄膜电阻率随Al3＋离子掺杂浓度的升高而降低;在可见光区域,薄膜透光率随Al3＋离子掺杂浓度的升高而降低,掺杂3%ZnO薄膜的透光率达到90%左右,禁带宽度为3.25 eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值。
引用本文（GB/T 7714）
郑春满, 宋植彦, 魏海博, 等. 具有C轴取向Al^3＋掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2012.
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