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软X—射线投影光刻术：实验和实用的光刻机
吴桂英
1992Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 0
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引用本文（GB/T 7714）
吴桂英. 软X—射线投影光刻术：实验和实用的光刻机[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1992.
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